FIB雙束電鏡

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更新日期：2023-03-20
產(chǎn)品介紹：新一代的賽默飛世爾科技 Helios 5 DualBeam FIB雙束電鏡經(jīng)過精心設(shè)計，可滿足材料科學(xué)研究人員和工程師對廣泛的 FIB-SEM 使用需求，即使是有挑戰(zhàn)性的樣品。
廠商性質(zhì)：代理商

產(chǎn)品介紹

品牌	FEI/賽默飛

新一代的賽默飛世爾科技 Helios 5 DualBeam FIB雙束電鏡具有 Helios 5 產(chǎn)品系列高性能成像和分析性能。它經(jīng)過精心設(shè)計，可滿足材料科學(xué)研究人員和工程師對廣泛的 FIB-SEM 使用需求，即使是具有挑戰(zhàn)性的樣品。

Helios 5 DualBeam FIB雙束電鏡重新定義了高分辨率成像的標(biāo)準(zhǔn)：較高的材料對比度，快、簡單、準(zhǔn)確的高質(zhì)量樣品制備，用于 S/TEM 成像和原子探針斷層掃描（APT）以及高質(zhì)量的亞表面和 3D 表征。在 Helios DualBeam 系列久經(jīng)考驗(yàn)的性能基礎(chǔ)上，新一代的 Helios 5 DualBeam 進(jìn)行了改進(jìn)優(yōu)化，所有這些都旨在確保系統(tǒng)處于手動或自動工作流程的運(yùn)行狀態(tài)。

更易于使用：

Helios 5 是所有體驗(yàn)級別用戶容易使用的 DualBeam。操作員培訓(xùn)可以從幾個月縮短到幾天，系統(tǒng)設(shè)計可幫助所有操作員在各種高級應(yīng)用程序上實(shí)現(xiàn)一致、可重復(fù)的結(jié)果。

提高了生產(chǎn)率：

Helios 5 和 AutoTEM 5 軟件的先進(jìn)自動化功能，增強(qiáng)的穩(wěn)健性和穩(wěn)定性允許無人值守甚至夜間操作，顯著提高樣品制備通量。

改善時間和結(jié)果：
Helios 5 DualBeam 現(xiàn)在包括 FLASH，這是一種調(diào)整圖像的新概念。對于傳統(tǒng)的顯微鏡，每次操作員需要獲取圖像時，必須通過迭代對中仔細(xì)調(diào)整顯微鏡。使用 Helios 5 DualBeam，屏幕上的簡單手勢將激活 FLASH，將自動調(diào)整這些參數(shù)。自動調(diào)整可以顯著提高通量、數(shù)據(jù)質(zhì)量并簡化高質(zhì)量圖像的采集。

半導(dǎo)體行業(yè)技術(shù)參數(shù)：

		Helios 5 CX	Helios 5 HP	Helios 5 UX	Helios 5 HX	Helios 5 FX
		樣品制備與XHR掃描電鏡成像		終樣品制備(TEM薄片，APT)		STEM亞納米成像與樣品制備
SEM	著陸電壓	20ev-30kev		20ev-30kev
	分辨率	0.6nm@15kev 1.0nm@1kev		0.6nm@2kev 0.7nm@1kev 1.0nm@500ev
STEM	分辨率@30kev	0.7nm		0.6nm		0.3nm
FIB制備過程	大材料去除束流	65nA	100nA	65nA
	終優(yōu)拋光電壓	2kv		500v
TEM樣品制備	樣品厚度	50nm	15nm	7nm
	自動化	否	是	是
樣品處理	行程	110×110×65mm	110×110×65mm	150×150×10mm	100×100×20mm	100×100×20mm+5軸（S）TEMCompustage
	負(fù)載鎖	手動	自動	手動	自動	自動+自動插入/提取STEM桿

材料科學(xué)行業(yè)技術(shù)參數(shù)：

		Helios 5 CX	Helios 5 UX
離子光學(xué)		具有*的高電流性能的Tomahawk HT 離子鏡筒	具有*的大電流和低電壓性能的Phoenix離子鏡筒
	離子束電流范圍	1 pA – 100 nA	1 pA – 65 nA
	加速電圧	500 V – 30 kV	500 V – 30 kV
	大水平視場寬度	在光束重合點(diǎn)時為0.9 mm	在光束重合點(diǎn)時為0.7 mm
	離子源壽命	1,000 hours	1,000 hours
		兩級差動泵	兩級差動泵
		飛行時間矯正	飛行時間矯正
		15孔光闌	15孔光闌
電子光學(xué)		Elstar超高分辨率場發(fā)射鏡筒	Elstar超高分辨率場發(fā)射鏡筒
		磁浸沒物鏡	磁浸沒物鏡
		高穩(wěn)定性肖特基場發(fā)射槍提供穩(wěn)定的高分辨率分析電流	高穩(wěn)定性肖特基場發(fā)射槍提供穩(wěn)定的高分辨率分析電流
電子束分辨率	工作距離下	0.6 nm at 30 kV STEM	0.6 nm at 30 kV STEM
		0.6 nm at 15 kV	0.7 nm at 1 kV
		1.0 nm at 1 kV	1.0 nm at 500 V (ICD)
		0.9 nm at 1 kV 減速模式*
	在束流重合點(diǎn)	0.6 nm at 15 kV	0.6 nm at 15 kV
	在束流重合點(diǎn)	1.5 nm at 1 kV 減速模式* and DBS*	1.2 nm at 1 kV
電子束參數(shù)	電子束流范圍	0.8 pA to 176 nA	0.8 pA to 100 nA
	加速電壓范圍	200 V – 30 kV	350 V – 30 kV
	著陸電壓	20 eV – 30 keV	20 eV – 30 keV
	大水平視場寬度	2.3 mm at 4 mm WD	2.3 mm at 4 mm WD
探測器		Elstar 鏡筒內(nèi) SE/BSE 探測器 (TLD-SE, TLD-BSE)
		Elstar i鏡筒內(nèi)SE/BSE 探測器 (ICD)*
		Elstar 鏡筒內(nèi) BSE 探測器 (MD)*
		樣品室內(nèi)Everhart-Thornley SE 探測器 (ETD)
		紅外相機(jī)
		高性能離子轉(zhuǎn)換和電子探測器(SE)*
		樣品室內(nèi)樣品導(dǎo)航彩色光學(xué)相機(jī)Nav-Cam Camera*
		可伸縮式低電壓、高襯度、分割式固態(tài)背散射探測器(DBS)*
		可伸縮STEM 3+ 探測器*
		電子束流測量
樣品臺和樣品	樣品臺	靈活五軸電動	壓電驅(qū)動XYR軸的高精度五軸電動工作臺
	XY	110 mm	150 mm
	Z	65 mm	10 mm
	R	360° (連續(xù))	360° (連續(xù))
	傾斜	-15° to +90°	-10° to +60°
	大樣品高度	與優(yōu)中心點(diǎn)間隔85mm	與優(yōu)中心點(diǎn)間隔55mm
	大樣品質(zhì)量	樣品臺任意位置500 g	樣品臺任意位置500 g
	大樣品質(zhì)量	0° 傾斜時大5kg	樣品臺任意位置500 g
	大樣品尺寸	直徑110 mm可沿樣品臺旋轉(zhuǎn)時	直徑150 mm可沿樣品臺旋轉(zhuǎn)時
		優(yōu)中心旋轉(zhuǎn)和傾斜	優(yōu)中心旋轉(zhuǎn)和傾斜